日本ULVAC愛發(fā)科多級羅茨型干泵 LR 系列

日本ULVAC愛發(fā)科多級羅茨型干泵 LR 系列
通過低溫區(qū)域的泵體均熱化，在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。

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產(chǎn)品詳情

日本ULVAC愛發(fā)科多級羅茨型干泵 LR 系列

特點

低溫區(qū)域均熱化（LR系列）

在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。

氦氣密封

通過搭載屏蔽電動機形成密閉結(jié)構，非常安全。

瞬停對策

采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策。

出色的耐腐蝕性

主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內(nèi)部的腐蝕。

通信功能

可讀取與泵運轉(zhuǎn)狀態(tài)相關的數(shù)據(jù)、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信，則可實現(xiàn)集中監(jiān)控。

用途

成膜裝置（濺射裝置/蒸鍍裝置等）

縮短備料下料室的排氣時間

作為輔助排氣泵（渦輪分子泵、機械增壓泵的輔助排氣）

池田屋實業(yè)(深圳)有限公司成立于2015年，位于廣東省深圳市，是一家從事中日貿(mào)易的企業(yè)。

公司經(jīng)過多年的發(fā)展，已整合多方海外廠商渠道，有穩(wěn)定的合作關系，為企業(yè)提供售賣、維修、售后等一系列節(jié)能降本的服務。

池田屋主要經(jīng)營日本科學儀器設備、實驗室儀器、各類檢測儀器、測量儀器、食品設備、光學設備、精密傳感器等各類工業(yè)流通產(chǎn)品。

公司擁有專業(yè)的銷售團隊、技術團隊、資深的管理團隊，通過全體員工的不懈努力，憑借在工業(yè)品領域的專業(yè)水平和成熟技術，

服務于電子消費類、半導體，液晶光電，汽車業(yè)、造船業(yè)、地鐵、等專業(yè)用戶里的世界500強企業(yè)。

規(guī)格

型號		LR60	LR90	LR180	LR421	LR421-T
最大排氣速度	50Hz	62 m³/h (1030 L/min)	112 m³/h (1860 L/min)	183 m³/h (3100 L/min)	440 m³/h (7333 L/min)	440 m³/h (7333 L/min)
	60Hz	80 m³/h (1333 L/min)	126 m³/h (2100 L/min)	237 m³/h (3950 L/min)
到達壓力		5.0 Pa
最大排氣壓力（吸入圧力）		大氣壓
最大排氣口壓力（排出圧力）		1~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規(guī)格)		VG50(KF50)	VG80(KF50)		VG100
排氣口		KF40			VG50
質(zhì)量		180 kg	245 kg	335 kg	415 kg
電源 *1	三相	200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)			180~240 VAC/ 380~440 VAC(50/60 Hz)
電流值	穩(wěn)定時	6.9 A (at 200V)	11.2 A (at 200V)	18.9 A (at 200V)	20.8 A (at 200V)
	最大值	7.3 A (at 200V)	11.8 A (at 200V)	20.6 A (at 200V)	48.5 A (at 200V)
冷卻水一次壓力		0.1~0.3 MPa			0.2~0.5 MPa
冷卻水出入口壓差		>0.1 MPa			>0.2 MPa
冷卻水流量		>5.0 L/min			>4.0 L/min
吹掃氣	一次壓力	0.1~0.5 MPa
	二次壓力	0.05~0.1 MPa
氮氣吹掃	軸	5 SLM
	氣鎮(zhèn)	0~45 SLM			沒有	0~45 SLM